中日合作交流樱花系统

2019年11月14日至12月4日期间，上海理工大学光电信息与计算机工程学院集成光子器件课题组一行四人，受樱花科技计划资助，赴茨城县筑波市的日本产业技术综合研究所（AIST）电子光技术部门秋本良一上级主任研究员课题组，开展了为期21天的共同研究活动。活动期间，受到了秋本老师的热情接待，并就氮化硅光波导芯片的制备、表征及光学频率梳应用开展了共同研究活动。 到达AIST之后，秋本老师首先进行了相关的实验室安全教育，并详细介绍了超净间以及实验室各相关设备的工作原理与使用规范。随后，秋本研究员带领大家参观了AIST先进的半导体光刻设备，介绍了光子芯片相关的半导体制备流程与工艺。 随后，开展了基于氮化硅微环波导的光频梳芯片共同研究，分别进行了基片材料有机清洗、镀膜、匀胶、电子束光刻、等离子体刻蚀、酸洗、二次镀膜、化学机械抛光、加热电极制备相关光刻、金属镀膜、剥离等集成光波导芯片的制备实验，最后进行了芯片切割制样和性能表征。 共同研究活动临近结束时，秋本老师组织了研讨会，团队成员就相关实验结果进行了汇报交流，并就今后的合作内容进行了进一步的探讨。 访问期间，秋本老师博学的专业知识以及产业技术综合研究所优秀的科研氛围给我们留下深刻的印象，在秋本老师的指导与帮助下，我们的共同研究活动也取得了预期效果。后期拟共同撰写科研论文，并进一步申请国际合作项目。 三周时间很快就过去了，日本科研工作者的工匠精神和严谨细致的研究态度让我们印象深刻。产业技术综合研究所里很多人一辈子专注于一个方向，扎扎实实的探索，事无巨细；同时实验室设施齐全，操作规范，科研区和休息区分布合理，不仅仅拥有好的科研环境，还可以放松地讨论交流，劳逸结合，因此所内的研究人员对于科研充满热情，没有想象中的严肃紧张，整个研究所充满了和谐的科研氛围。 最后，感谢樱花科技计划的资助，期待有机会再来日本学习交流!